硅通孔三维互连与集成技术 (硅通孔与三维集成电路)

硅通孔三维互连与集成技术 (硅通孔与三维集成电路)

马书英,付东之,刘轶,仲晓羽,赵艳娇,陈富军,段光雄,边智芸,华天科技,昆山,电子有限公司,在此特别鸣谢!摘要,随着电子技术的高速发展,更高密度、更小型化、更高集成化以及更高性能的封装需求给半导体制造业提出了新的挑战,由于物理限制,芯片的功......
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